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Optino 波前测试技术与干涉仪技术对比
Optino 波前测试系统相对于干涉仪的优点
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干涉仪 |
Optino 波前系统 |
| 1 |
购买、运行、维护费用高 |
非常便宜 |
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系统体积大，需要大型光学平台 |
结构紧凑，普通桌子就可以 |
| 3 |
需要昂贵的隔振平台 |
非常耐用，无需隔振，普通桌子就可以，即使重击桌子也不会影响测试结果或仪器性能 |
| 4 |
需要洁净室 |
普通干净的实验室环境足够了 |
| 5 |
需要控制测试现场的气流 |
可以在紧靠打磨机器工作现场使用 |
| 6 |
需要激光光源 |
普通光源或激光均可 |
| 7 |
由于激光波长范围有限，只能工作在有限的几个波长 |
任何波长均可工作，从193nm到1700nm，软件功能不受波长和配置的影响 |
| 8 |
仅限于测试平面、球面及浅度非球面测试 |
可以测试深度非球面元件（球形失常值达50λ） |
| 9 |
不能测试非规则形状元件 |
可以测试非规则元件，如柱面镜 |
| 10 |
动态范围受CCD探测器上干涉条纹限制， |
方法本身具有高动态特性 |
Optino vs Zygo Interferometer
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通过使用Zygo GPI xp HR干涉仪和Spot-Optics公司的Optino 波前测试系统对一个硬盘上小面积(7mm)区域，进行测试对比。
右图白色圆圈位置的区域即为测试区域，是一个平整的表面，测试的波长为632nm,下图为主要测试得到的参数对比：
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去除了倾斜(Tilt), Piston and 散焦 (defocus)影响后的表面3D形貌图（ Zygo ）
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去除了倾斜和散焦的3D表面形貌图(Optino) |
Optino vs Veeco Interferometer
- A small area (9mm) of a flat mirror was tested using a high
resolution Veeco interferometer.
- The same area was tested with our standard instrument Optino/Sensoft mounting a cooled CCD camera.
-Both the tests were done at 632.8nm
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| Veeco |
Optino |
更多信息请浏览：  Accuracy of SpotOptics wavefront sensors.pdf
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解决方案
