Optino 波前測試技術與干涉儀技術對比

Optino 波前測試系統相對于干涉儀的優點

   干涉儀  Optino 波前系統
1 購買、運行、維護費用高 非常便宜
2 系統體積大,需要大型光學平臺 結構緊湊,普通桌子就可以
3 需要昂貴的隔振平臺 非常耐用,無需隔振,普通桌子就可以,即使重擊桌子也不會影響測試結果或儀器性能
4 需要潔凈室 普通干凈的實驗室環境足夠了
5 需要控制測試現場的氣流 可以在緊靠打磨機器工作現場使用
6 需要激光光源 普通光源或激光均可
7 由于激光波長范圍有限,只能工作在有限的幾個波長 任何波長均可工作,從193nm到1700nm,軟件功能不受波長和配置的影響
8 僅限于測試平面、球面及淺度非球面測試 可以測試深度非球面元件(球形失常值達50λ
9 不能測試非規則形狀元件 可以測試非規則元件,如柱面鏡
10 動態范圍受CCD探測器上干涉條紋限制, 方法本身具有高動態特性

Optino  vs Zygo Interferometer

通過使用Zygo GPI xp HR干涉儀和Spot-Optics公司的Optino 波前測試系統對一個硬盤上小面積(7mm)區域,進行測試對比。

右圖白色圓圈位置的區域即為測試區域,是一個平整的表面,測試的波長為632nm,下圖為主要測試得到的參數對比:

   
 去除了傾斜(Tilt), Piston and 散焦 (defocus)影響后的表面3D形貌圖( Zygo )
 去除了傾斜和散焦的3D表面形貌圖(Optino)

Optino  vs Veeco Interferometer

- A small area (9mm) of a flat mirror was tested using a high 
resolution Veeco interferometer.

- The same area was tested with our standard instrument Optino/Sensoft mounting a cooled CCD camera.

-Both the tests were done at 632.8nm

Veeco Optino

更多信息請瀏覽: Accuracy of SpotOptics wavefront sensors.pdf



  發送給朋友| 打印友好
沪ICP备13003137号-1